精密洗淨(符合N3製程)

化學清洗:

化學清洗系統

有機溶劑 / 無機溶劑 (酸/鹼)

乾冰清洗:

以 CO2 乾冰清洗,清除相關部品零件上之附著物

高壓水槍清洗:

將水加壓至超高壓後噴出,形成一高能量的剪力場。

效用 : 清除物理吸附之附著物, ex: 防著板上各種 Metal 或 ITO 堆疊之薄膜。

優點 : 有效且快速,因水分子團本身柔軟,使母材消耗遠小於 長時間化學蝕洗的金屬鍵剝離。

噴砂處理:

1. 加壓式噴砂機

2. 旋風式噴砂機

主要功能為粗化、清潔、物理除膜零件部品。

超音波純水清洗:

超音波精密清洗

以純水超音波震盪清洗零件表面之粉塵